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申请/专利权人：雷纳·克雷默
摘要：本发明涉及一种以中空阴极作为靶、通过气流溅射对粉末或颗粒状粒子进行涂敷的方法和设备，该中空阴极与阳极和收集容器一起布置在可抽真空的容器内。为了提高效率和便于操作，本发明提出以下方案：经过计量后，待涂敷的粉末或颗粒状粒子被引入进料口，并以自由落体的方式穿过中空阴极的真空内部，随后这些粒子被收集在下方的收集容器中，落体高度为0.3米至1米。
主权项：1.一种以中空阴极11作为靶、通过气流溅射对粉末或颗粒状粒子进行涂敷的方法，其特征在于，经过计量后引入到进料口15的待涂敷的粉末或颗粒状粒子以自由落体方式穿过所述中空阴极11的真空内部并被收集在下方的收集容器13中，其中，自由落体高度为0.3米至1米。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雷纳·克雷默 用于对粉末或颗粒状粒子进行涂敷的方法和设备
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