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申请/专利权人：上海科技大学
摘要：本发明提供一种表面钝化微腔、光学器件及其制备方法和用途，属于微纳器件技术领域，所述表面钝化微腔包括回音壁微腔和惰性分子层。其中，惰性分子层附着在所述回音壁微腔的表面，所述惰性分子层抑制所述回音壁微腔表面的光学损耗，并且，所述光学损耗至少包括光吸收和光散射。本发明的表面钝化微腔，能够在无干燥氮气封装保护的开放空气环境下，有效抑制微腔在长时间使用或存储过程的产生表面光学损耗，进而长期实现低功率阈值光频梳的稳定输出。
主权项：1.一种表面钝化微腔，其特征在于，包括：回音壁微腔；惰性分子层，其附着在所述回音壁微腔的表面，所述惰性分子层抑制所述回音壁微腔表面的光学损耗，其中，所述光学损耗至少包括光吸收和光散射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海科技大学 一种表面钝化微腔、光学器件及其制备方法和用途
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