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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：提供一种垫表面判定方法及垫表面判定系统，能够适当地判定研磨垫的表面性状，该研磨垫的表面性状包含在研磨垫的研磨面形成的槽、孔等凹部内的状态。本垫表面判定方法从多个光源51、52、53将多个光以不同的入射角向研磨垫2的研磨面2a内的目标区域T照射，由摄像装置59接收来自目标区域T的多个反射光，通过摄像装置59生成与不同的入射角对应的多个图像，基于多个图像中的至少一个图像来判定研磨垫2的表面性状。
主权项：1.一种垫表面判定方法，判定用于研磨基板的研磨垫的表面性状，该研磨垫具有形成有凹部的研磨面，其特征在于，从多个光源将多个光以不同的入射角向所述研磨面内的目标区域照射，由摄像装置接收来自所述目标区域的多个反射光，通过所述摄像装置生成与所述不同的入射角对应的多个图像，基于所述多个图像中的至少一个图像来判定所述研磨垫的表面性状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 垫表面判定方法及垫表面判定系统
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