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申请/专利权人：常熟理工学院;苏州吉天星舟空间技术有限公司
摘要：本申请涉及图像处理技术领域，具体涉及一种光学元件表面微观缺陷检测方法及系统，该方法包括：采集待检测光学元件与标准光学元件的表面暗场图像；获取待检测光学元件的各疑似缺陷像素点；基于疑似缺陷像素点的分布，得到待检测光学元件的表面暗场图像的各连通域；获取各连通域的划痕疑似度；得到各疑似缺陷像素点的弱划痕疑似度；确定边缘检测算法中的梯度低阈值，对待检测光学元件的表面暗场图像进行边缘检测，结合神经网络模型，得到待检测光学元件表面的微观缺陷结果。从而提高对光学元件表面微观缺陷检测的准确度。
主权项：1.一种光学元件表面微观缺陷检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：采集待检测光学元件与标准光学元件的表面暗场图像；获取所述表面暗场图像中的候选边缘像素点集合；基于待检测光学元件与标准光学元件的所述候选边缘像素点集合的差异，得到待检测光学元件的各疑似缺陷像素点；基于疑似缺陷像素点的分布，得到待检测光学元件的表面暗场图像的各连通域；分析所述各连通域的形状特征，得到所述各连通域的划痕疑似度；结合所述划痕疑似度，以及所述疑似缺陷像素点与所在图像中的背景像素点的灰度差异，得到各疑似缺陷像素点的弱划痕疑似度；基于各疑似缺陷像素点的弱划痕疑似度与梯度，确定边缘检测算法中的梯度低阈值，对待检测光学元件的表面暗场图像进行边缘检测，结合神经网络模型，得到待检测光学元件表面的微观缺陷结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常熟理工学院 苏州吉天星舟空间技术有限公司 一种光学元件表面微观缺陷检测方法及系统
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