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申请/专利权人：石家庄钨铱电子科技有限公司
摘要：本发明公开了金刚石与金属膜层的高效界面结合方法，涉及金刚石技术领域。包括表面特性分析：利用表面特性分析算法，定量评估金刚石表面的粗糙度、润湿性和化学组成，并利用原子力显微镜获取金刚石表面的微观形貌数据，并结合傅里叶变换红外光谱来分析金刚石表面的化学组成，得到表面特性分析算法结果。本发明通过表面特性分析算法，可以准确评估金刚石表面的粗糙度、润湿性和化学组成，为后续界面设计提供了基础数据，且可以根据金刚石表面的特性选择合适的金属材料和膜层结构，通过计算不同金属与金刚石表面的界面能，结合强度和热稳定性参数，筛选出最合适的金属材料和膜层结构，提高了界面结合的效率和稳定性。
主权项：1.金刚石与金属膜层的高效界面结合方法，其特征在于，包括：表面特性分析：利用表面特性分析算法，定量评估金刚石表面的粗糙度、润湿性和化学组成，并利用原子力显微镜获取金刚石表面的微观形貌数据，并结合傅里叶变换红外光谱来分析金刚石表面的化学组成，得到表面热性分析算法结果；金属膜层设计模块：基于全面特性分析算法的结果，根据金刚石表面的特性选择合适的金属材料和膜层结构，并利用材料数据库和模拟软件，通过计算不同金属与金刚石表面的界面能、结合强度和热稳定性参数，筛选金属材料和膜层结构；界面工程优化：通过调整沉积参数和引入中间层来优化金刚石与金属膜层的界面结合，利用实用数据和模拟结果，建立沉积参数与界面结合之间的数字模型，并通过迭代优化算法找寻最佳沉积参数组合，通过模拟和实验验证中间层与界面结合的影响，并确定最优的中间层材料和结构；沉积过程控制模块：根据界面工程优化算法结果，控制沉积设备实现金刚石与金属膜层的高效界面结合，通过实时监测沉积过程中的温度、压力、气氛和功率，确保沉积过程按照优化后的参数进行，并实时监测数据进行反馈控制，及时调整沉积参数与应对可能的异常情况；性能评估与反馈模块：用于对沉积后的金刚石金属复合结构进行性能评估，并得到评估结果，将评估结果反馈给界面工程优化进行迭代优化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 石家庄钨铱电子科技有限公司 金刚石与金属膜层的高效界面结合方法
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