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一种金属掩膜板清洗装置 

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申请/专利权人:福建华佳彩有限公司

摘要:本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域,特别涉及一种金属掩膜板清洗装置,包括主清洗槽,主清洗槽内腔设有转动机构和支撑机构,转动机构固定设置在主清洗槽内腔,支撑机构位于转动机构上方且与转动机构固定连接,支撑机构靠近转动机构的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸,防水气缸的伸缩端上连接有夹持机构,通过在主清洗槽内腔设置转动机构和支撑机构,将金属掩模板放到支撑机构上并用夹持机构夹持,在清洗时启动转动机构,转动机构转动带动支撑机构旋转进而使金属掩模板转动,这样使得金属掩膜板与主清洗槽内腔的清洗液之间产生一定的接触摩擦力,从而带动金属掩膜板上旧材料的脱落,提高清洗效果。

主权项:1.一种金属掩膜板清洗装置,其特征在于,包括主清洗槽,所述主清洗槽内腔设有转动机构和支撑机构,所述转动机构固定设置在主清洗槽内腔,所述支撑机构位于转动机构上方且与转动机构固定连接,所述支撑机构靠近转动机构的一侧面上的相对两端边沿处分别设有防水气缸,所述防水气缸的伸缩端上连接有用于夹持金属掩膜板的夹持机构,所述支撑机构远离转动机构的一侧面用于放置金属掩膜板;所述转动机构包括伺服电机和连杆,所述伺服电机固定在主清洗槽的槽底,所述伺服电机的输出轴与连杆的一端固定连接,与所述连杆的一端相对的另一端与支撑机构固定连接;还包括暂存槽,所述暂存槽的进液口与主清洗槽的排液口之间通过第一液体管路连通;所述第一液体管路上设有第一调速阀,所述主清洗槽的进液口处设有第二调速阀,所述暂存槽的排液口处设有第三调速阀;所述暂存槽的排液口与主清洗槽的进液口之间通过第二液体管路连通,所述第二液体管路上设有蒸馏塔和抽液泵,所述蒸馏塔靠近主清洗槽的进液口的位置设置,所述抽液泵靠近暂存槽的排液口的位置设置。

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