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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种掩膜版图的拆分方法，包括：提供鳍部版图，鳍部版图包括若干鳍部图形；获取金属层版图，金属层版图包括若干第一金属层图形；在金属层版图中缺失区域形成第二金属层图形；获取初始金属切断层版图，初始金属切断层版图包括若干金属切断层图形组，金属切断层图形组包括若干金属切断层图形；将鳍部版图和金属层版图作为参考版图对初始金属切断层版图拆分，使得初始金属切断层版图形成若干金属切断层版。鳍部版图和金属层版图均与初始金属切断层版图存在稳定的空间位置关系，能够有效提升版图的拆分效率和灵活性。将金属层版图中具有缺失的区域增补完整，避免在进行拆分时出现无序拆分的随机情况，进而保证版图拆分的可靠性与可行性。
主权项：1.一种掩膜版图的拆分方法，其特征在于，包括：提供鳍部版图，所述鳍部版图包括若干沿第一方向平行排布的鳍部图形；基于所述鳍部版图获取金属层版图，所述金属层版图包括若干沿第二方向平行排布的第一金属层图形，所述第一方向与所述第二方向垂直，沿所述第二方向，部分相邻的所述第一金属层图形之间的间距尺寸大于最小间距尺寸；在间距尺寸大于最小间距尺寸的相邻所述第一金属层图形之间形成若干第二金属层图形，直至沿所述第二方向，相邻的所述第一金属层图形、相邻的所述第一金属层图形和所述第二金属层图形、以及相邻的所述第二金属层图形之间的间距尺寸均小于或等于所述最小间距尺寸；基于所述金属层版图获取初始金属切断层版图，所述初始金属切断层版图包括若干沿第一方向平行排布的金属切断层图形组，每组所述金属切断层图形组包括若干沿所述第二方向排布的金属切断层图形，当所述初始金属切断层版图和所述金属层版图层叠时，所述金属切断层图形组与所述第一金属层图形和所述第二金属层图形之间具有重叠区域，当所述初始金属切断层版图和所述鳍部版图层叠时，所述金属切断层图形组位于对应相邻的所述鳍部图形之间；将所述鳍部版图和所述金属层版图作为参考版图对所述初始金属切断层版图拆分处理，使得所述初始金属切断层版图形成若干金属切断层版图。
全文数据：
权利要求：
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