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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：质量流量校验系统和设备基于压力衰减原理来校验质量流量控制器MFC的质量流率。实施方式包括用于在管线中耦合经校准的气体流量标准器或待测试的MFC以从气源接收气流的位置；串联耦合到管线中的所述位置以接收气流的控制体积；串联耦合到控制体积的限流器；串联耦合到限流器的泵；和控制器，经适配以允许气源使气体流过质量流量控制校验系统，以在控制体积中达到稳定的压力、终止来自气源的气流，并且随着时间测量控制体积中的压力衰减速率。公开了许多额外的方面。
主权项：1.一种质量流量控制校验系统，包括：位置，所述位置用于在管线中耦合经校准的气体流量标准器或待测试的质量流量控制器，以从气源接收气流；控制体积，所述控制体积串联耦合到所述管线中的所述位置以接收所述气流；限流器，所述限流器串联耦合到所述控制体积；泵，所述泵串联耦合到所述限流器；阀，所述阀耦合在所述位置与所述控制体积之间；和控制器，所述控制器经适配以：允许所述气源使气体流过所述质量流量控制校验系统，以在所述控制体积中达到稳定压力；一旦所述控制体积中的压力稳定，就通过关闭所述阀终止来自所述气源的所述气流；随着时间测量所述控制体积中的压力衰减速率；确定拟合在衰减压力拐点之后的压力衰减曲线的方程；和使用所述方程经由反向外推计算在关闭所述阀的时间处的所述压力衰减速率的校正值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 基于压力衰减速率校验质量流量的方法、系统和设备
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