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申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
摘要：本申请公开了一种光阻流量的监控方法和监控系统，该系统包括：信息采集转换器，用于获取至少两组流量信息组，每组流量信息组包括光阻流量信息以及获取光阻流量信息的监控时间，该光阻流量信息是传感器监控涂胶机台的每根作业管道进行涂胶作业时得到的信息，光阻流量信息用于指示作业管道在喷涂光阻时的流量；同步服务器，用于获取至少两组作业信息，每组作业信息包括作业时间和作业管道信息，根据监控时间和作业时间得到匹配信息，该匹配信息包括每组流量信息组和其对应的作业管道信息；控制设备，用于根据匹配信息确定是否存在具有流量故障的作业管道。
主权项：1.一种光阻流量的监控方法，其特征在于，包括：获取至少两组流量信息组，每组信息组包括光阻流量信息以及获取所述光阻流量信息的监控时间，所述光阻流量信息是传感器监控涂胶机台的每根作业管道进行涂胶作业时得到的信息，所述光阻流量信息用于指示作业管道在喷涂光阻时的流量；获取至少两组作业信息，每组作业信息包括作业时间和作业管道信息；根据监控时间和作业时间得到匹配信息，所述匹配信息包括每组流量信息组和其对应的作业管道信息；根据所述匹配信息确定是否存在具有流量故障的作业管道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 光阻流量的监控方法和监控系统
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