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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

摘要：本发明涉及一种研磨清洗设备，包括硅片研磨装置和磨轮清洗装置；所述硅片研磨装置包括可旋转的研磨工作台和研磨轮，所述研磨轮包括可旋转的基座和环形分布于所述基座的连接面上的多个研磨牙齿，多个所述研磨牙齿间隔设置，在研磨过程中，研磨轮部分覆盖于所述研磨工作台上，使得多个所述研磨牙齿在工作状态和非工作状态之间进行转换；所述研磨轮清洗装置用于在研磨过程中，对处于非工作状态的研磨牙齿进行清洗。在研磨过程中，通过研磨轮清洗装置对研磨轮的研磨牙齿进行清洗，从而避免磨轮上附着的碎屑及污染物对硅片造成损伤。

主权项：1.一种研磨清洗设备，其特征在于，包括硅片研磨装置和磨轮清洗装置；所述硅片研磨装置包括可旋转的研磨工作台和研磨轮，所述研磨轮包括可旋转的基座和环形分布于所述基座的连接面上的多个研磨牙齿，多个所述研磨牙齿间隔设置，在研磨过程中，所述研磨轮部分覆盖于所述研磨工作台上，使得多个所述研磨牙齿在工作状态和非工作状态之间进行转换；所述研磨轮清洗装置用于在研磨过程中，对处于非工作状态的所述研磨牙齿进行清洗；所述研磨轮清洗装置包括：第一清洗单元，用于对所述研磨牙齿的外周面进行清洗；第二清洗单元，用于对所述研磨牙齿的研磨面进行清洗；干燥单元，用于对完成清洗的研磨牙齿进行干燥；所述研磨清洗设备还包括废水回收装置，所述废水回收装置设置于所述研磨轮的下方，所述废水回收装置包括与排水管道连通的喇叭状回收口，所述喇叭状回收口的出水口由多个间隔设置的排水孔构成；所述第一清洗单元包括第一超声波产生结构和第一超纯水喷淋结构，所述第一超纯水喷淋结构包括朝向所述研磨牙齿的外周面的第一喷嘴；所述第二清洗单元包括毛刷清洁结构和第二超纯水喷淋结构，所述第二超纯水喷淋结构包括穿设于所述毛刷清洁结构内，并朝向所述研磨牙齿的研磨面的第二喷嘴；所述毛刷清洁结构包括基体和设置于所述基体上朝向所述研磨面的毛刷，所述第二超纯水喷淋结构包括穿设于所述基体的内部的喷淋管，所述喷淋管的一端设置有外露于所述基体的所述第二喷嘴；所述基体至少设有2个，2个相邻的所述基体在所述研磨轮上的正投影位于相邻的所述研磨牙齿的研磨面上；在所述研磨轮的径向方向上，所述基体的宽度大于或等于所述研磨牙齿的宽度。

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