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申请/专利权人：上海音特电子有限公司

摘要：本发明公开了一种二极管塑封致密性检查及工艺管控的方法，涉及电子器件检测技术领域。本发明采用扩散型标准漏孔检漏仪进行检查，能够基于数值量化检验，相对于统的致密性是靠外观视觉检测，超声检测也是靠波长反射，形成图像，也是靠图片判断来说，更加直观且快速，效率更高；由于采用加压充氦气，并使用扩散型标准漏孔检漏仪进行检查，不会对产品工件进行破坏，大大降低了检查过程中的材料的浪费，并且无需特别高端的扫描电子显微镜SEM，降低了检测费用的仪器购置成本；之前扫描电子显微镜SEM单次做50PCS，利用质谱检测仪的方法能够灵活设计检测试容量，单次能够做到500‑1000PCS，甚至是更多。

主权项：1.一种二极管塑封致密性检查及工艺管控的方法，用于优化流程及采用氦质谱检漏技术对产品致密性进行管控，具体是对依次经过固晶及打线、焊接及清洗、注塑封装以及3D视觉检查后的产品工件进行致密性检查，其特征在于，包括如下步骤：S1、氦气检测：将所述产品工件按照AQL加严抽检方法取样，根据产品工件的体积大小，放入至对应的氦气检漏仪的对应容器中，通过质谱检漏仪达到足以读出小于或等于10-4（Pa.m3s的氦检率，单位容器样本数量控制设定为n颗；具体检测包括如下：S11、将产品工件放入至加压容器的腔体内，并关闭腔体；S12、对腔体抽真空，至0.1mbar以下，然后充入5-6bar的氦气，氦气浓度99%；S13、保压30-60min，腔体泄压至常压；S14、打开腔体并取出产品工件；S15、用干燥无水压缩空气对产品进行表面氦气清扫；S16、将产品工件放入至真空测试腔体，并关闭腔体；S17、按下检漏测试按钮，开始抽真空测试；S18、放入空气至大气压，打开测试腔体，取出测试的产品工件，每个班次至少1次经标准检准过的扩散型标准漏孔检漏仪，校对一下仪器件的有效性，漏率超过5.0x10-9mbarls,就判断为不合格，低于此漏率判为合格；S2、使用二分法判断不合格的产品工件，具体是：将总数量为n的产品工件，分成n2的二等份，将二等份进行S1的流程步骤的检测，判断二等份样品产品工件的不良情况；若经二等分后的样品产品工件有一组或两组为不合格，则对该组经二等分不合格产品再次进行二等份划分，并再次进行S1的流程步骤，并再次判断经二次二等分样品产品工件的不良情况；若经二次二等分后的样品产品工件仍有一组或两组为不合格，则对该组经二等分不合格产品再次进行二等份划分并再次进行S1的流程步骤；若后续经二等分后的分组仍然有不合格情况，则继续二等分，进行至少五次的二等分动作后，每次二等分后采用S1的步骤进行判断样品产品工件的不良情况；重复的复杂程度就是效率与产品质量判断的标准；当n2k，指总数量n经过k次二等分后能够完全判断产品工件的不良情况；其中，当k4，k=log2n；即k值大于4，第一次二等分后，左右两组的k值大于3，即进行了四次以上的二等分后，能够判断整体产品工件的工艺流程需要重新调整；对于不合格组份的产品工件进行剔除，对于合格组份的产品工件流转至下一步骤；S3、通过贴片二极管产品的自动测试线TMTT，对合格组份的产品进行检测漏电流、耐压规定的参数，并打丝印，便于包装。

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