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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：本发明提供基板检查装置和基板检查方法。实施例涉及的基板检查装置可以包括：工作台，在第一方向以及与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；探针卡，与所述工作台连接，包括主体部件以及从所述主体部件的与所述工作台相邻的下表面突出的多个探针，具有与配置在所述工作台的支承部件连接的一端；以及卷曲辊，卷曲与所述探针卡的另一端连接的线，被设置成在与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向上与所述工作台的上表面间隔开，所述多个探针通过在第一模式下所述线从所述卷曲辊解绕而与安装在所述工作台上的作为检查对象的基板接触并且通过在第二模式下所述线缠绕于所述卷曲辊而远离所述基板。
主权项：1.一种基板检查装置，包括：工作台，在第一方向以及与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；探针卡，与所述工作台连接，包括主体部件以及从所述主体部件的与所述工作台相邻的下表面突出的多个探针，具有与配置在所述工作台的支承部件连接的一端；以及卷曲辊，卷曲与所述探针卡的另一端连接的线，被设置成在与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向上与所述工作台的上表面间隔开，所述多个探针通过在第一模式下所述线从所述卷曲辊解绕而与安装在所述工作台上的作为检查对象的基板接触并且通过在第二模式下所述线缠绕于所述卷曲辊而远离所述基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 基板检查装置和基板检查方法
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