龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社新川
摘要：本发明提供一种能够通过简单的构造检测吸嘴的异常的半导体装置的制造装置。半导体装置的制造装置10包括：吸嘴30，沿着中心轴形成吸引孔20，在作为末端面的保持面38吸引保持半导体芯片100；检查相机50，从下方拍摄未保持所述半导体芯片100的状态的所述吸嘴30，获取吸嘴检查图像；及控制器52，基于所述吸嘴检查图像，算出表示所述吸嘴30的异常度的评估指标，并基于所述评估指标，判断所述吸嘴30有无异常，或向操作员提示所述评估指标。
主权项：1.一种半导体装置的制造装置，其特征在于，包括：吸嘴，沿着中心轴形成有吸引孔，在作为末端面的保持面吸引保持芯片；检查相机，从下方拍摄未保持所述芯片的状态的所述吸嘴，获取吸嘴检查图像；及控制器，基于所述吸嘴检查图像，算出表示所述吸嘴的异常度的评估指标，基于所述评估指标判断所述吸嘴有无异常、或向操作员提示所述评估指标。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社新川 半导体装置的制造装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号