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用于硅片切割装置的取样组件、硅片切割装置 

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申请/专利权人:阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种用于硅片切割装置的取样组件、切割装置,所述取样组件包括:箱体,所述箱体具有储液空间;抽液件,所述抽液件设在所述箱体上,所述抽液件用于抽取所述储液空间内的冷却液;至少一个收液件,所述收液件设在所述箱体的外侧,所述收液件用于收集经所述抽液件抽取的所述冷却液;流出管路,所述流出管路设在所述抽液件与所述收液件之间,所述流出管路的一端与所述抽液件相连。根据本实用新型的取样组件,实现了冷却液的自动采样,提高了冷却液检测的准确性和可靠性。

主权项:1.一种用于硅片切割装置的取样组件,其特征在于,包括:箱体,所述箱体具有储液空间;抽液件,所述抽液件设在所述箱体上,所述抽液件用于抽取所述储液空间内的冷却液;至少一个收液件,所述收液件设在所述箱体的外侧,所述收液件用于收集经所述抽液件抽取的所述冷却液;流出管路,所述流出管路设在所述抽液件与所述收液件之间,所述流出管路的一端与所述抽液件相连。

全文数据:

权利要求:

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