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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构，包括光学系统测头、机台、XY位移滑台、样品旋转台、Z向位移滑台、超声波传感器、电机支座和XY双轴角度调整台；机台包括水平的机台基座端和竖直的机台支撑端；XY双轴角度调整台安装在机台基座端上，XY位移滑台安装在XY双轴角度调整台上，样品旋转台安装在XY位移滑台上；电机支座安装在机台支撑端上，Z向位移滑台安装在电机支座上，光学系统测头安装于Z向位移滑台并朝向下方的样品旋转台，随着Z向位移滑台的运动而实现与待测样品之间距离的调整。本实用新型实现了白光干涉精密测量技术的自动化，具有测量效率高、自动化程度高和能够有效防止干涉物镜与待测样品发生碰撞的特点。
主权项：1.一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构，其特征在于，包括光学系统测头1、机台2、XY位移滑台3、样品旋转台4、Z向位移滑台5、超声波传感器6、电机支座7和XY双轴角度调整台8；所述机台2包括水平的机台基座端21和竖直的机台支撑端22；所述XY双轴角度调整台8安装在机台基座端21上，所述XY位移滑台3安装在XY双轴角度调整台8上，所述样品旋转台4安装在XY位移滑台3上；所述电机支座7安装在机台支撑端22上，所述Z向位移滑台5安装在电机支座7上，所述光学系统测头1安装于Z向位移滑台5并朝向下方的样品旋转台4；所述超声波传感器6用于判断光学系统测头1与样品旋转台4上的待测样品9之间的距离，并向计算机提供实时的位置反馈。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种干涉测量条纹自动调整及垂直对焦防碰撞机构
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