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申请/专利权人：成都辰显光电有限公司
摘要：本申请提供一种喷淋组件以及湿法设备，具体的，喷淋组件包括支撑座、摆臂和喷头组件，摆臂与支撑座连接；喷头组件与摆臂连接且与支撑座间隔设置；其中，摆臂与水平面具有夹角，使得喷头组件与摆臂的连接部在垂直方向高于支撑座与摆臂的连接部。通过上述设置，有利于将溅附在摆臂上的液体引流至摆臂底部，避免上述液体滴落至待加工器件表面，从而影响器件质量。
主权项：1.一种喷淋组件，其特征在于，包括：支撑座；摆臂，与所述支撑座连接；喷头组件，与所述摆臂连接且与所述支撑座间隔设置；其中，所述摆臂与水平面具有夹角，使得所述喷头组件与所述摆臂的连接部在垂直方向高于所述支撑座与所述摆臂的连接部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都辰显光电有限公司 喷淋组件以及湿法设备
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