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申请/专利权人：江苏超芯星半导体有限公司
摘要：本发明提供一种基于碳化硅衬底与聚合物界面的激光标记方法，利用碳化硅衬底与聚合物薄膜之间的接触界面处发生光热转换来实现激光诱导图案化。本发明提供的方法无需化学刻蚀和物理掺杂，仅需碳化硅衬底即可实现聚合物薄膜表面的激光标记，克服了大部分聚合物因没有激光响应性而无法被标记的问题，同时避免了在聚合物中整体填充激光敏感物质，改善了激光标记效果，有利于大规模推广应用。
主权项：1.一种基于碳化硅衬底与聚合物界面的激光标记方法，其特征在于，所述激光标记方法利用碳化硅衬底与聚合物薄膜之间的接触界面处发生光热转换来实现激光诱导图案化；其中，所述碳化硅衬底的表面平整度为20-30μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏超芯星半导体有限公司 一种基于碳化硅衬底与聚合物界面的激光标记方法
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