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一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法 

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申请/专利权人:北京中科科仪股份有限公司

摘要:本发明涉及材料性能测试技术领域,具体涉及一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法,分子泵涡轮材料蠕变测试装置包括:测试架安装分子泵,在分子泵内设有涡轮;分子泵设有的气体入口适于通入气体;测试盖板固定设置于测试架上;红外测试单元安装至测试盖板上,红外测试单元获取涡轮表面的温度;本申请通过开发设计专用测试装置,针对分子泵产品中的关键零件:涡轮进行材料蠕变测试,使用实际成型的涡轮在分子泵中进行检测,能够真实反映涡轮材料在实际使用中不同状态下涡轮材料的蠕变特性,进而获得分子泵涡轮材料性能的试验数据;真实反映涡轮材料的蠕变特性。

主权项:1.一种分子泵涡轮材料蠕变测试方法,应用分子泵涡轮材料蠕变测试装置,其特征在于,包括:测量并记录涡轮每层叶片固定位置的尺寸;将涡轮安装至分子泵1内;将分子泵1安装至测试架2上;开启分子泵1,以设定的转速运转;向分子泵1设有的气体入口通入气体;通过红外测试单元7获取涡轮表面的温度;每相隔设定的时间,停止向分子泵1内通入气体,停止分子泵1;拆卸分子泵1,测量并记录涡轮每层叶片固定位置的尺寸;以时间为横坐标,以上述记录的涡轮每层叶片固定位置的尺寸为纵坐标,在坐标平面内绘制标记点;拟合相同层叶片涉及的标记点,得到涡轮每层叶片固定位置随时间变化的曲线,作为分子泵涡轮材料的蠕变曲线;所述分子泵涡轮材料蠕变测试装置,包括:测试架2,适于安装分子泵1,在所述分子泵1内设有涡轮;所述分子泵1设有的气体入口适于通入气体;测试盖板6,固定设置于所述测试架2上;红外测试单元7,安装至测试盖板6上,所述红外测试单元7的测温探头适于伸入分子泵1内,以获取涡轮表面的温度。

全文数据:

权利要求:

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