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一种五自由度纳米运动装置及其控制方法 

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申请/专利权人:中国船舶集团有限公司第七一一研究所

摘要:本发明公开了一种五自由度纳米运动装置及其控制方法,该装置包括:底部支柱平台,底部支柱平台整体呈等边三棱柱框架结构,棱边设置圆角,内部为中空,框架部分三面等厚,支柱与支柱之间设置有连接结构,共三处;促动器,垂直设置在支柱与支柱间的连接结构上,三个促动器沿圆周均匀分布,相互夹角为120°;顶部平台,安装在转接板上,与底部支柱平台连接,顶部平台上设置有正交执行机构,正交执行机构的两个方向上均设置有促动器。本发明通过并列三个精密促动器分别驱动三组柔性导向机构,控制顶部平台的整体运动,结合顶部的二维移动平台使整体兼具串并联机构的优点,在实现多自由度运动的前提下,减小误差累积和机构的控制难度,保证了运动精度。

主权项:1.一种五自由度纳米运动装置,其特征在于:所述运动装置包括:底部支柱平台1,所述底部支柱平台1整体呈等边三棱柱框架结构,棱边设置圆角,内部为中空,框架部分三面等厚,支柱与支柱之间设置有连接结构8,共三处;促动器3,垂直设置在支柱与支柱间的所述连接结构8上,三个所述促动器3沿圆周均匀分布,相互夹角为120°;顶部平台4,安装在转接板6上,与所述底部支柱平台1连接,所述顶部平台4上设置有正交执行机构,所述正交执行机构的两个方向上均设置有促动器3。

全文数据:

权利要求:

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