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申请/专利权人:东京毅力科创株式会社
摘要:本发明提供一种用于防止探针卡的破损的探针卡保持装置以及检查装置。包括:框架,其通过真空吸附来保持探针卡;密封部,其设于上述框架,并且与上述探针卡接触而形成密闭空间;配置部,其在将上述探针卡保持于上述框架时,用于对形成于上述探针卡的外周部的第一卡合部进行配置;第二卡合部,其能够在避开上述配置部的位置和与上述配置部重叠的位置之间切换;以及驱动部,其用于驱动上述第二卡合部,在真空吸附解除,并且上述第一卡合部与上述第二卡合部卡合时,上述探针卡在上述密封部维持与上述探针卡的密封的状态下被保持。
主权项:1.一种探针卡保持装置,包括:框架,其用于通过真空吸附来保持探针卡;密封部,其设于上述框架,并且与上述探针卡接触而形成密闭空间;配置部,其在上述探针卡保持于上述框架时,用于对形成于上述探针卡的外周部的第一卡合部进行配置;第二卡合部,其能够在避开上述配置部的位置和与上述配置部重叠的位置之间切换;以及驱动部,其用于驱动上述第二卡合部,在真空吸附解除,并且上述第一卡合部与上述第二卡合部卡合时,上述探针卡在上述密封部维持与上述探针卡的密封的状态下被保持,在上述探针卡真空吸附于上述框架时,上述第一卡合部与上述第二卡合部分离,分离的上述第一卡合部与上述第二卡合部在与水平方向垂直的方向上的距离小于上述第一卡合部在与水平方向垂直的方向上的厚度。
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百度查询: 东京毅力科创株式会社 探针卡保持装置以及检查装置
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