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检查指示信息产生装置与方法、基板检查系统、记录媒体 

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申请/专利权人:日本电产理德股份有限公司

摘要:本发明涉及一种检查指示信息产生装置与方法、基板检查系统、记录媒体。检查指示信息产生装置包括:存储部,存储导电结构信息,所述导电结构信息表示具备设有多个导电部的表背一对基板面、层叠在基板面与另一基板面之间的层即配线层、及将配线层的配线与多个导电部连接的通孔的基板的导电部、配线及通孔如何导通连接;以及检查指示信息产生部,执行检查指示信息产生处理,所述检查指示信息产生处理基于导电结构信息使形成于同一基板面的导电部彼此成对地将多个导电部两两组合,并产生表示所述组合后的一对导电部的信息作为检查指示信息。

主权项:1.一种检查指示信息产生装置,是用于指示检查基板时的检查部位的检查指示信息产生装置,包括:存储部;以及检查指示信息产生部,所述基板包括:设置有多个导电部的表背一对的基板面、层叠于所述一对基板面之间的层即配线层、以及将所述配线层的配线与所述多个导电部连接的通孔,所述存储部存储表示所述基板的所述导电部、所述配线及所述通孔如何导通连接的导电结构信息,所述检查指示信息产生部执行如下检查指示信息产生处理:基于所述导电结构信息,使形成于同一所述基板面的所述导电部彼此成对地将所述导电部两两组合,并产生表示所述组合后的一对导电部的信息作为检查指示信息,其中所述检查指示信息产生处理是如下处理:在将所述多个导电部两两组合时,自经所述组合的一对导电部间的计算上的电阻值小的对开始依序组合,由此产生所述检查指示信息。

全文数据:

权利要求:

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