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申请/专利权人：佳能特机株式会社
摘要：本发明提供能够抑制掩模的热变形的掩模支承装置以及成膜装置。通过具备作为用于支承掩模16的支承部件的掩模台33、作为用于通过掩模台33来控制掩模16的温度的温度控制构件的掩模冷却机构2、以及增强由掩模台33支承掩模16的力的增强构件，掩模16的面方向的温度分布更均匀化，能够抑制掩模16的热变形。
主权项：1.一种掩模支承装置，其特征在于，具备：支承部件，所述支承部件用于支承掩模；温度控制构件，所述温度控制构件用于通过所述支承部件来控制所述掩模的温度；以及增强构件，所述增强构件增强由所述支承部件支承所述掩模的力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能特机株式会社 掩模支承装置以及成膜装置
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