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申请/专利权人：迪睿合株式会社
摘要：本发明的目的在于提供能够高精度地测定运送膜片的任意部位的光学特性的测定装置及成膜装置。该测定装置具备：测定部，对膜片照射光，将由前述膜片透射或反射的光聚光；以及移动机构，使前述测定部能够沿与前述膜片的运送方向交叉的第一方向移动，前述测定部具有对前述膜片照射光的光投射部、将来自前述膜片的光聚光的积分球、以及接受由前述积分球聚光的光的光接受部。
主权项：1.一种测定装置，具备：测定部，其对膜片照射光，测定由所述膜片透射或反射的光；以及移动机构，其使所述测定部能够沿与所述膜片的运送方向交叉的第一方向移动，所述测定部具备对所述膜片照射光的光投射部、将来自所述膜片的光聚光的积分球、以及接受由所述积分球聚光后的光的光接受部，所述光投射部具备聚光透镜，所述光投射部被固定于所述积分球，所述聚光透镜与所述膜片的光照射面的距离为比所述聚光透镜的焦距短的值。
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