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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的控制辅助装置具备：对应关系获取部，其获取复数个模型识别信息与复数个参数值的对应关系，复数个所述模型识别信息对复数个判定模型分别进行识别，复数个所述判定模型根据表示与基板处理装置的基板处理相关联的动作或状态的处理信息，分别判定结构构件的动作的正常度；信息获取部，其获取与复数个所述判定模型中的、根据所述结构构件动作时的处理信息能够获得适当的判定结果的判定模型相对应的模型识别信息；以及决定部，其根据由对应关系获取部所获取的对应关系、及由信息获取部所获取的模型识别信息，决定用以控制结构构件的参数值。
主权项：1.一种控制辅助装置，其决定用以对基板处理装置中的结构构件进行控制的控制参数的值即参数值，其中，具备：对应关系获取部，其获取复数个模型识别信息与复数个参数值的对应关系，其中，复数个所述模型识别信息对复数个判定模型分别进行识别，复数个所述判定模型根据表示与所述基板处理装置的基板处理相关联的动作或状态的处理信息，分别判定所述结构构件的动作的正常度；信息获取部，其获取与复数个所述判定模型中的、根据所述结构构件动作时的处理信息能够获得适当的判定结果的判定模型相对应的模型识别信息；以及决定部，其根据由所述对应关系获取部所获取的对应关系及由所述信息获取部所获取的模型识别信息，决定用以控制所述结构构件的所述参数值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 控制辅助装置及控制辅助方法
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