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一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置 

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申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司

摘要:本发明属于硅棒加工技术领域,特别涉及一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置,包括底座、沿底座长度方向上设置的四线开方组件和磨抛组件、以及设置在底座一侧的上下料组件;所述四线开方组件旁设有绕排线组件;所述绕排线组件有两个,设置在所述四线开方组件两侧;所述四线开方组件和所述磨抛组件之间设有对中组件;所述磨抛组件一侧设有夹持组件。本发明加工工序集中,节约了人工转运成本,工件精度保持性好,加工效率高,可大大提高产能。

主权项:1.一种通过式全自动晶棒四线开方四面磨削抛光装置,其特征在于,包括底座(1)、沿底座(1)长度方向上设置的四线开方组件(20)和磨抛组件(40)、以及设置在底座(1)一侧的上下料组件(10);所述四线开方组件(20)旁设有绕排线组件(60);所述绕排线组件(60)有两个,设置在所述四线开方组件(20)两侧;所述四线开方组件(20)和所述磨抛组件(40)之间设有对中组件(30);所述磨抛组件(40)一侧设有夹持组件(50);所述四线开方组件(20)、磨抛组件(40)和上下料组件(10)呈“品”字形设置;所述上下料组件(10)包括上下料底座(11)、滑动设置在上下料底座(11)上的滑动台(12)、以及滑动设置在滑动台(12)上的上下料台;所述上下料底座(11)长度方向的两侧均设有底座导轨,所述滑动台(12)可沿底座导轨滑动;所述滑动台(12)长度方向的两侧均设有滑动导轨,滑动导轨与所述底座导轨垂直,所述上下料台可沿滑动导轨滑动;所述上下料台包括上下移动板(13)、设置在上下移动板(13)顶部的前后移动板(14)、以及设置在前后移动板(14)顶部的上料组件(15)和下料组件;所述四线开方组件(20)包括开方底座(21)、设置在开方底座(21)顶部的开方立柱(22)、以及设置在开方立柱(22)底部两端的切割机头(23)和开方尾架(24);所述磨抛组件(40)包括磨头支撑立柱、设置在磨头支撑立柱上的磨头进给组件、以及设置在磨头进给组件上的磨头组件(41);所述磨头支撑立柱为“门”型结构,磨抛纵向移动工作台(43)从所述磨头支撑立柱底部空隙穿过;所述夹持组件(50)设置在所述磨抛纵向移动工作台(43)上,所述夹持组件(50)底部与所述磨抛纵向移动工作台(43)滑动连接;所述夹持组件(50)包括底部的支撑座(53)和设置在所述支撑座(53)上的头架(51)和尾架(52),所述头架(51)固定在所述支撑座(53)一端,所述尾架(52)沿所述支撑座(53)移动;当硅棒由上下料组件(10)运至对中组件(30)进行硅棒对中后,夹持组件(50)在磨抛纵向移动工作台(43)上移动至硅棒处,使硅棒处于头架(51)和尾架(52)之间。

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