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申请/专利权人：唐山三孚硅业股份有限公司

摘要：本发明公开了一种ICP‑MS在线取样系统，包括洁净柜、进样管路和出样管路，进样管路上安装有进样阀门A和进样阀门B，出样管路上安装有出样阀门A和出样阀门B，进样管路的出口和出样管路的入口之间的管道上连接取样支路，取样支路上安装取样阀门，出样管路的管道上设有支路连接至低压罐，连接至低压罐的支路上安装有去低压罐阀门，位于洁净柜内的阀门和管道的材质为PFA或PTFE，进样管路入口与待分析样品容器连接，出样管路出口与废料回收装置连接。本发明还提供一种ICP‑MS在线取样方法。本发明取样系统能有效避免金属离子污染，并且结构简单，取样方法易操作，适合推广应用。

主权项：1.一种利用ICP-MS在线取样系统的取样方法，所述的ICP-MS在线取样系统，包括洁净柜、进样管路和出样管路，进样管路的出口和出样管路的入口通过管道相连，进样管路上安装有进样阀门A和进样阀门B，出样管路上安装有出样阀门A和出样阀门B，进样管路的出口和出样管路的入口之间的管道上连接取样支路，取样支路上安装取样阀门，出样管路的管道上设有支路连接至低压罐，连接至低压罐的支路上安装有去低压罐阀门，进样阀门A、出样阀门B和低压罐设置于洁净柜外，进样阀门B、出样阀门A、取样支路和去低压罐阀门设置于洁净柜内，位于洁净柜内的阀门和管道的材质为PFA或PTFE，进样管路入口与待分析样品容器连接，出样管路出口与废料回收装置连接；低压罐内压力数值为10~50KPa；进样管路上还安装有进样阀门C，进样阀门C设置于洁净柜内，进样阀门C材质为PFA或PTFE；出样管路上还设置有出样阀门C，出样阀门C设置于洁净柜内，出样阀门C材质为PFA或PTFE；位于洁净柜外的阀门和管道的材质为EP级别不锈钢；其特征在于，所述的取样方法，按如下步骤进行：步骤一，系统前期处理：对系统进行气密性检测，气密性检测合格后采用惰性气体进行吹扫，吹扫合格后对系统进行润洗、浸泡、钝化；步骤二，对被分析样品进行取样分析：待测样品从进样管路入口处开始进样；打开所有进样阀门和出样阀门，用待分析样品对管路进行冲洗、置换；冲洗、置换合格后打开去低压罐阀门，关闭出样阀门B，让待分析样品进入低压罐；低压罐内进入待分析样品，微开取样阀门，用取样皿盛接待分析样品；取样结束后，依次关闭取样阀门、进样阀门和去低压罐阀门。

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