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申请/专利权人：盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司

摘要：本发明公开了一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置，包括基座水平调节装置，基座水平调节装置由水平仪本体、空心金属球、电机固定杆、水平调节螺丝一、水平调节螺丝二、顶紧螺丝一和顶紧螺丝二组成，水平仪本体中部开设有安装口且外侧开设有两组螺纹导向槽，安装口与两组螺纹导向槽相连通，空心金属球活动设置于安装口内，空心金属球的中部垂直安装有对接槽口。本发明在于未改变基座水平仪大体结构的情况下，增加了顶紧螺丝一和空心圆球体，加装顶紧螺丝一，可以防止水平调节螺丝的滑动位移，造成基座的不稳定性，增加一个空心圆球体，套装在固定杆尾部，避免水平调节螺丝尾部与电机固定杆直接接触而产生磨损。

主权项：1.一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置，包括基座水平调节装置，其特征在于：所述基座水平调节装置由水平仪本体（1）、空心金属球（2）、电机固定杆（3）、水平调节螺丝一（4）、水平调节螺丝二（5）、顶紧螺丝一（6）和顶紧螺丝二（12）组成，所述水平仪本体（1）中部开设有安装口（7）且外侧开设有两组螺纹导向槽（8），所述安装口（7）与两组螺纹导向槽（8）相连通，所述空心金属球（2）活动设置于安装口（7）内，所述空心金属球（2）的中部垂直安装有对接槽口（9），所述电机固定杆（3）的尾部固定于对接槽口（9）内，所述水平调节螺丝一（4）和水平调节螺丝二（5）分别螺纹穿插于螺纹导向槽（8）内且内端与空心金属球（2）相接触，所述顶紧螺丝一（6）分设有两组且螺纹固定于水平调节螺丝一（4）、水平调节螺丝二（5）上，所述顶紧螺丝二（12）螺纹固定于顶紧螺丝一（6）的外侧；所述空心金属球（2）的底部呈实体球面结构且上表面对接槽口（9）的开口处呈水平状设置；所述对接槽口（9）的内部呈弧面结构且规格与电机固定杆（3）的尾部规格相同；所述顶紧螺丝一（6）和顶紧螺丝二（12）均呈六面体螺丝帽结构且内表面采用磁性材料；所述水平调节螺丝一（4）外端加工成型有环形卡槽（13），所述环形卡槽（13）内固定有限位环（14），所述限位环（14）的外围呈放射状均匀固定有若干组限位弹片（15），所述限位弹片（15）的内端与顶紧螺丝二（12）相抵触，所述水平调节螺丝二（5）与水平调节螺丝一（4）结构相同。

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