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LBO晶体生长温度调节炉体 

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申请/专利权人:河南悦能光电科技有限公司

摘要:本实用新型公开了LBO晶体生长温度调节炉体,涉及晶体生长炉技术领域,为解决现有晶体生长炉的两个坩埚之间通过摩擦力固定,容易发生转动偏移,并且石英坩埚内的溶液溢出容易进入到石墨坩埚内部,造成石英坩埚和石墨坩埚固定不稳定的问题。所述下炉体的上端设置有隔离阀,所述隔离阀的上端设置有上炉体,所述下炉体的内部设置有石英坩埚,所述石英坩埚的外部设置有石墨坩埚;还包括:防溢板,其设置在所述石英坩埚上端的两侧,且防溢板与石英坩埚热熔连接,所述防溢板的上端设置有倾斜板,且倾斜板与防溢板热熔连接;第一限位插柱,其设置在所述防溢板的下端,且第一限位插柱与防溢板为一体结构,所述石墨坩埚的两侧上表面均设置有第一限位插槽。

主权项:1.LBO晶体生长温度调节炉体,包括下炉体1,所述下炉体1的上端设置有隔离阀3,所述隔离阀3的上端设置有上炉体2,所述下炉体1的内部设置有石英坩埚8,所述石英坩埚8的外部设置有石墨坩埚9;其特征在于:还包括:防溢板15,其设置在所述石英坩埚8上端的外部,且防溢板15与石英坩埚8热熔连接,所述防溢板15的上端设置有倾斜板16,且倾斜板16与防溢板15热熔连接;第一限位插柱18,其设置在所述防溢板15的下端,且第一限位插柱18与防溢板15为一体结构,所述石墨坩埚9的两侧上表面均设置有第一限位插槽20,且第一限位插柱18插入第一限位插槽20内部。

全文数据:

权利要求:

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