买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：哈尔滨工业大学

摘要：本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹ydt，ydt减去位置测量信号yε,kt得到位置误差信号ekt，ekt输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,kt，eff,kt与ekt相加得到修正误差信号efb,kt，efb,kt输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,kt，ufb,kt输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,kt。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。

主权项：1.一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统，其特征在于所述系统包括运动轨迹生成部分S1、学习控制部分S2、反馈控制部分S3和不确定性补偿部分S4，其中：所述运动轨迹生成部分S1包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹ydt，参考运动轨迹ydt减去位置测量信号yε,kt得到位置误差信号ekt，位置误差信号ekt输入给学习控制部分S2；所述学习控制部分S2包括学习控制器CL和迭代后移算子z-1，位置误差信号ekt与前馈信号eff,kt输入给学习控制器CL，学习控制器CL产生第k+1次前馈信号eff,k+1t，第k+1次前馈信号eff,k+1t输入给迭代后移算子z-1，迭代后移算子z-1产生第k次前馈信号eff,kt，前馈信号eff,kt与位置误差信号ekt相加得到修正误差信号efb,kt，修正误差信号efb,kt输入给反馈控制部分S3，所述反馈控制部分S3包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,kt，反馈控制量ufb,kt输入给不确定性补偿部分S4；所述不确定性补偿部分S4包括名义质量模块光刻装备P、扩张状态观测器Ceso、外部扰动信号fd,kt和测量噪声信号εkt，反馈控制量ufb,kt减去不确定性估计信号得到补偿后控制量umi,kt，补偿后控制量umi,kt输入给名义质量模块名义质量模块产生修正控制量umo,kt，修正控制量umo,kt与外部扰动信号fd,kt相加得到总输入信号uP,kt，总输入信号uP,kt输入给光刻装备P，光刻装备P产生实际位置信号yP,kt，实际位置信号yP,kt加上测量噪声信号εkt得到位置测量信号yε,kt，位置测量信号yε,kt与修正控制量umo,kt输入给扩张状态观测器Ceso，扩张状态观测器Ceso产生不确定性估计信号上述，下标k表示迭代实验次数，k≥1，t表示时间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 哈尔滨工业大学 基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法