龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：一种计量测量设备可包含：一或多个照明源；光束分离器，其经配置以从照明路径接收来自所述一或多个照明源的照明且沿着测量路径引导所述照明；及物镜。所述物镜可将来自所述测量路径的所述照明引导到样本，从所述样本收集光，且沿着所述测量路径将所述经收集光引导到所述光束分离器，使得所述光束分离器可沿着集光路径将所述经收集光引导到检测器。所述设备可进一步包含沿着所述测量路径的具有光瞳中继器及偏转器的光瞳平面扫描仪，所述偏转器在经中继光瞳平面中，使得调整所述偏转器会调整照明光点在所述样本上的位置，而未修改照明光瞳分布的位置或所述经收集光沿着所述集光路径的分布的位置。
主权项：1.一种计量测量设备，其包括：一或多个照明源；光束分离器，其经配置以从照明路径接收来自所述一或多个照明源的照明且沿着测量路径引导所述照明；物镜，其经配置以将来自所述测量路径的所述照明引导到样本，其中所述照明经布置以提供定义所述照明在所述样本上的入射角的所述物镜的光瞳平面中的选定照明光瞳分布，其中所述照明进一步经布置以提供在所述样本上具有小于所述物镜的视场的光点大小的照明光点，其中所述物镜进一步经配置以收集来自所述样本的光且沿着所述测量路径引导经收集光，其中所述光束分离器进一步经配置以从所述测量路径接收所述经收集光且沿着集光路径将所述经收集光引导到一或多个检测器；及光瞳平面扫描仪，其沿着所述测量路径定位于所述物镜与所述光束分离器之间，其中所述光瞳平面扫描仪包括：光瞳中继器，其沿着所述测量路径介于所述物镜与所述光束分离器之间，以将光瞳平面从所述物镜中继到沿着所述测量路径定位于所述物镜与所述光束分离器之间的一或多个经中继光瞳平面；及一或多个偏转器，其定位于所述一或多个经中继光瞳平面中的至少一者中，其中调整所述一或多个偏转器的角度位置会调整所述照明光点在所述样本上的位置，而未修改所述照明光瞳分布的位置或所述经收集光沿着所述集光路径的分布的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于计量的光瞳平面光束扫描
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号