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申请/专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司

摘要：本申请涉及晶圆翘曲度测量技术领域，具体涉及基于数据分析的晶圆翘曲度快速测量方法，包括：采集晶圆三维点云数据，获取从属点云簇，计算邻域点面偏移距离，确定晶圆三维点云投影集合，计算晶圆翘曲评定系数，获取邻域翘曲偏离指数，结合晶圆翘曲评定系数得到自适应邻域搜索数量，获取晶圆滤波点云数据，计算晶圆翘曲度。本申请旨在解决传统的统计滤波算法未考虑到晶圆表面的翘曲程度，采用固定的邻近点个数导致无法在保证滤波效果的同时尽可能地保留晶圆的翘曲特征的问题，提高了晶圆翘曲度计算的精度。

主权项：1.基于数据分析的晶圆翘曲度快速测量方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：采集晶圆三维点云数据；根据所有晶圆三维点云数据间的距离关系获取每个晶圆三维点云数据的从属点云簇；根据所述从属点云簇计算每个晶圆三维点云数据的邻域点面偏移距离；根据所有晶圆三维点云数据的邻域点面偏移距离的差异性获取晶圆三维点云投影集合；基于所有晶圆三维点云投影集合中各晶圆三维点云数据的投影点的分布特征获取每个晶圆三维点云数据的晶圆翘曲评定系数；根据每个晶圆三维点云数据与邻域内晶圆三维点云数据的晶圆翘曲评定系数的差异性获取每个晶圆三维点云数据的邻域翘曲偏离指数；根据所述晶圆翘曲评定系数以及所述邻域翘曲偏离指数获取每个晶圆三维点云数据的自适应邻域搜索数量；根据每个晶圆三维点云数据以及所述自适应邻域搜索数量获取晶圆滤波点云数据；根据晶圆滤波点云数据获取晶圆翘曲度；所述获取每个晶圆三维点云数据的晶圆翘曲评定系数，包括的具体方法为：基于晶圆三维点云投影集合中所有晶圆三维点云数据的投影点的整体分布特征获取集合分布容限距离以及每个投影点的多个邻域参考点；当每个投影点与对应的任一邻域参考点之间的欧氏距离大于集合分布容限距离时，将所述任一邻域参考点的评判权重因子设置为1，否则，将所述任一邻域参考点的评判权重因子设置为0；将从每个投影点到所述任一邻域参考点的向量记为所述任一邻域参考点的邻域方向向量；将每个投影点的所有邻域参考点两两组合作为邻域投影组合，将任一邻域投影组合的两个邻域参考点的评判权重因子之和乘以所述两个邻域参考点的邻域方向向量之间的相似程度，作为所述任一邻域投影组合的分布紧密远心指数，每个晶圆三维点云数据的晶圆翘曲评定系数与所述任一邻域投影组合的分布紧密远心指数成正相关关系；所述获取晶圆三维点云投影集合，包括的具体方法为：将所有晶圆三维点云数据的邻域点面偏移距离按照取值范围均分为预设值个偏移区间，将邻域点面偏移距离位于相同偏移区间内的晶圆三维点云数据在xoy平面上的投影点所构成的集合作为晶圆三维点云投影集合。

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