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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：公开了一种检验系统。在一个实施例中，所述检验系统包含经配置以获取样本的干涉图的干涉仪子系统。所述检验系统可进一步包含经通信地耦合到所述干涉仪子系统的控制器。所述控制器经配置以：从所述干涉仪子系统接收所述干涉图；基于所接收的干涉图来产生所述样本的相位图，其中所述相位图包含多个像素；选择所述相位图的所述多个像素的像素子集用于相位展开程序；对所述相位图的所述像素子集执行一或多个相位展开程序以产生展开相位图；以及基于所述展开相位图来产生所述样本的表面高度图。
主权项：1.一种检验系统，其包括：干涉仪子系统，其经配置以获取样本的干涉图；及控制器，其经通信地耦合到所述干涉仪子系统，所述控制器包含经配置以执行经存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，所述一组程序指令经配置以引起所述一或多个处理器：从所述干涉仪子系统接收所述干涉图；基于所接收的干涉图来产生所述样本的相位图，其中所述相位图包含多个像素；选择所述相位图的所述多个像素的第一像素子集用于相位展开程序，其中选择所述多个像素的第一像素子集包括：选择所述多个像素的每N个像素中的一个像素用于包含于所述第一像素子集中，其中N等于或者大于2；基于所述相位图的所述第一像素子集执行第一组的一或多个相位展开程序以产生展开相位图；以及基于所述展开相位图来产生所述样本的第一表面高度图。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于在保持晶片翘曲覆盖率时使用不太有效像素增强数据处理吞吐量的系统及方法
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