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申请/专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
摘要：本发明公开了一种高度测量组件、三维测量组件及测量方法。高度测量组件用于对样品进行测量，样品包括多层样线。高度测量组件包括第一物镜与第一光源。第一物镜的放大倍数为X1，1＜X1＜10，第一物镜的数值孔径为NA1，NA1＜0.5。第一光源的光线相对于成像系统光轴的照射角度为θ，45°≤θ≤90°。其中，使高度测量组件沿竖向运动以使样线于第一物镜内成像，竖向垂直于成像系统光轴，沿竖向样线的圆心相对于高度测量组件的位置高度为Z。三维测量组件包括高度测量组件与水平测量组件。本方案能够提升测量效率，保障测量精度。
主权项：1.高度测量组件，用于对样品进行测量，所述样品包括多层样线，其特征在于，所述高度测量组件包括：第一物镜，所述第一物镜的放大倍数为X1，1＜X1＜10，所述第一物镜的数值孔径为NA1，NA1＜0.5；第一光源，所述第一光源的光线相对于成像系统光轴的照射角度为θ，45°≤θ≤90°；其中，使所述高度测量组件沿竖向运动以使所述样线于所述第一物镜内成像，所述竖向垂直于所述成像系统光轴，沿所述竖向所述样线的圆心相对于所述高度测量组件的位置高度为Z，L为所述第一物镜沿所述竖向的工作距离，R为所述样线的半径，α为所述第一物镜的最大接收角的一半。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市格灵精睿视觉有限公司 高度测量组件、三维测量组件及测量方法
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