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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体薄膜工艺技术领域，公开了一种溅射靶材检具，用于检测溅射靶材的安装孔深度，包括检测基件和定位测量件。检测基件能覆盖溅射靶材，避免操作时其他零件直接掉落砸伤溅射靶材，在检测基件上设有拟配孔，拟配孔溅射机台的安装孔的数量和位置对应设置，在溅射靶材正式安装前模拟溅射机台的安装条件；设置多个定位测量件并与拟配孔一一对应设置，定位测量件包括测量部，设置测量部的长度与溅射靶材的安装孔的预设深度相等，测量部能通过拟配孔并置于溅射靶材的安装孔内，根据测量部置于溅射靶材的安装孔内的长度能具象化判断溅射靶材是否加工合格到位，能提高检测效率，降低检测的劳动强度，保护检测数据的一致性。
主权项：1.溅射靶材检具，用于检测溅射靶材的安装孔的深度，其特征在于，包括：检测基件1，所述检测基件1被配置为能完全覆盖溅射靶材，所述检测基件1设置有拟配孔11，所述拟配孔11数量和位置与溅射机台的安装孔的数量和位置相对应设置；定位测量件2，所述定位测量件2设置有多个，所述定位测量件2与所述拟配孔11一一对应设置，所述定位测量件2包括测量部21，所述测量部21被配置为能通过所述拟配孔11并置于所述溅射靶材的安装孔内，所述测量部21的长度与所述溅射靶材的安装孔的预设深度相等。
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权利要求：
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