龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：本发明涉及一种用于从基板310，402移除至少一个单一微粒320的装置300、400及方法2000，其中该基板尤其是用于极紫外光光刻的光学元件，其中所述装置300、400包括：a分析单元330，设计为确定至少一个单一微粒320的材料组成的至少一个成分；b至少一个注气系统360，设计为给该单一微粒320的环境提供与特定成分相配的气体370、1470，c其中，相配的气体370，1470用于将该单一微粒320从基板310移除。
主权项：1.一种用于从基板310移除至少一个微粒320的方法2000，该方法包括：a.提供储存多种气体的多个贮气罐425，430，435，440，445，450，455，460，其中每个贮气罐425，430，435，440，445，450，455，460储存各自的气体；b.从所述多种气体中确定与所述至少一个微粒320的材料组成的至少一个确定成分相配的气体；以及c.在所述至少一个微粒320的环境中提供所述气体，其中所述气体对从所述基板310移除所述至少一个微粒320有贡献。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 用于从基板移除单一微粒的装置与方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号