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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明提供了一种半导体量测设备及光轴一致性的装调方法，该半导体量测设备包括光源、照明镜头、照明反射组件、偏摆反射组件、分光镜、水平放置的硅片以及探测器，其中，照明反射组件包括照明调整架和放置到照明调整架上的照明反射镜；偏摆反射组件包括偏摆反射调整架和放置到偏摆反射调整架上的偏摆反射镜；光源产生的光束经过照明镜头，通过照明反射镜第一次反射后反射到偏摆反射镜；通过偏摆反射镜第二次反射后经过分光镜；通过分光镜使光束垂直入射到硅片。该实施方式通过增设照明调整架以及偏摆反射调整架，能够调整照明反射镜和偏摆反射镜，进而能够对成像镜头和照明镜头的光轴进行调整，进而与系统光轴高精度重合，提高了装调效率。
主权项：1.一种半导体量测设备，其特征在于，包括光源、照明镜头、照明反射组件、偏摆反射组件、分光镜、水平放置的硅片以及探测器，其中，所述照明反射组件包括照明调整架和放置到所述照明调整架上的照明反射镜；所述偏摆反射组件包括偏摆反射调整架和放置到所述偏摆反射调整架上的偏摆反射镜；光源产生的光束经过所述照明镜头，通过所述照明反射镜第一次反射后反射到所述偏摆反射镜；通过所述偏摆反射镜第二次反射后经过所述分光镜；通过所述分光镜使光束垂直入射到所述硅片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 半导体量测设备及光轴一致性的装调方法
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