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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种图形修正方法，包括：提供初始版图，初始版图包括若干设计图形；在若干设计图形中获取若干特殊图形；将初始版图划分为若干第一块区，相邻第一块区之间具有边界线；在若干特殊图形中获取与边界线有交叠的若干跨区图形；将初始版图拆分为分区版图和跨区版图，跨区版图包括若干跨区图形，分区版图包括若干分区图形，若干分区图形为初始版图中除若干跨区图形之外的设计图形；通过若干第一客户端对分区版图进行修正处理，以及通过第二客户端对跨区版图进行修正处理，获取分区修正版图以及跨区修正版图；对若干跨区修正版图和分区修正版图进行合并处理，获得目标版图，对运算时间的影响较小，且提高了版图修正的准确性。
主权项：1.一种图形修正方法，其特征在于，包括：提供初始版图，所述初始版图包括若干设计图形；在所述若干设计图形中获取若干特殊图形；将所述初始版图划分为若干第一块区，相邻所述第一块区之间具有边界线；在所述若干特殊图形中获取与所述边界线有交叠的若干跨区图形；将所述初始版图拆分为分区版图和跨区版图，所述跨区版图包括所述若干跨区图形，所述分区版图包括若干分区图形，所述若干分区图形为所述初始版图中除所述若干跨区图形之外的所述设计图形；通过若干第一客户端对所述分区版图进行修正处理，以及通过第二客户端对所述跨区版图进行修正处理，获取分区修正版图以及跨区修正版图；对所述若干跨区修正版图和所述分区修正版图进行合并处理，获得目标版图。
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权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 图形修正方法
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