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申请/专利权人：苏州市职业大学(苏州开放大学)
摘要：本发明涉及芯片智能加工领域，尤其涉及一种芯片裸片加工机械手，包括手板，手板边缘延伸两个指板，指板与手板平面支撑裸片；第一气路，所述手板、指板内部开设第一气路，第一气路连接外部气源；卷指组件，所述手板端部与指板端部设置三个卷指组件，裸片置于三个卷指组件之间，卷指组件包括柔性板，柔性板内部设置有涡卷条，涡卷条与柔性板一体收卷，用于挤压裸片的边缘，柔性板内部开设贯通第一气路的气槽，本发明通过对气槽充、放气，配合涡卷条的弹力，用于控制柔性板展开或收卷，转移裸片时，收卷的柔性板由裸片侧边挤压裸片移动，三组收卷的柔性板将裸片挤压至中心位置，实现对裸片居中定位，使裸片在各个工序之间摆放整齐。
主权项：1.一种芯片裸片加工机械手，其特征在于，包括：手板（1），手板（1）边缘延伸两个指板（11），指板（11）与手板（1）平面支撑裸片；第一气路（5），所述手板（1）、指板（11）内部开设第一气路（5），第一气路（5）连接外部气源；卷指组件（2），所述手板（1）端部与指板（11）端部设置三个卷指组件（2），裸片置于三个卷指组件（2）之间，卷指组件（2）包括柔性板（21），柔性板（21）内部设置有涡卷条（23），涡卷条（23）与柔性板（21）一体收卷，用于挤压裸片的边缘，柔性板（21）内部开设贯通第一气路（5）的气槽（22），气槽（22）内通气膨胀使柔性板（21）克服涡卷条（23）的弹力展开；所述手板（1）、指板（11）表面设置三个支撑组件（3），支撑组件（3）包括气腔（33），气腔（33）内通过弹簧弹性滑动有活塞片（34），活塞片（34）表面固定有顶柱（32），顶柱（32）滑动穿出手板（1）、指板（11）的表面，所述第一气路（5）贯通气腔（33）。
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权利要求：
百度查询： 苏州市职业大学(苏州开放大学) 一种芯片裸片加工机械手
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