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申请/专利权人:苏州市职业大学(苏州开放大学)
摘要:本发明涉及芯片智能加工领域,尤其涉及一种芯片裸片加工机械手,包括手板,手板边缘延伸两个指板,指板与手板平面支撑裸片;第一气路,所述手板、指板内部开设第一气路,第一气路连接外部气源;卷指组件,所述手板端部与指板端部设置三个卷指组件,裸片置于三个卷指组件之间,卷指组件包括柔性板,柔性板内部设置有涡卷条,涡卷条与柔性板一体收卷,用于挤压裸片的边缘,柔性板内部开设贯通第一气路的气槽,本发明通过对气槽充、放气,配合涡卷条的弹力,用于控制柔性板展开或收卷,转移裸片时,收卷的柔性板由裸片侧边挤压裸片移动,三组收卷的柔性板将裸片挤压至中心位置,实现对裸片居中定位,使裸片在各个工序之间摆放整齐。
主权项:1.一种芯片裸片加工机械手,其特征在于,包括:手板(1),手板(1)边缘延伸两个指板(11),指板(11)与手板(1)平面支撑裸片;第一气路(5),所述手板(1)、指板(11)内部开设第一气路(5),第一气路(5)连接外部气源;卷指组件(2),所述手板(1)端部与指板(11)端部设置三个卷指组件(2),裸片置于三个卷指组件(2)之间,卷指组件(2)包括柔性板(21),柔性板(21)内部设置有涡卷条(23),涡卷条(23)与柔性板(21)一体收卷,用于挤压裸片的边缘,柔性板(21)内部开设贯通第一气路(5)的气槽(22),气槽(22)内通气膨胀使柔性板(21)克服涡卷条(23)的弹力展开;所述手板(1)、指板(11)表面设置三个支撑组件(3),支撑组件(3)包括气腔(33),气腔(33)内通过弹簧弹性滑动有活塞片(34),活塞片(34)表面固定有顶柱(32),顶柱(32)滑动穿出手板(1)、指板(11)的表面,所述第一气路(5)贯通气腔(33)。
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