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申请/专利权人:南开大学
摘要:本发明提供一种利用水溶性有机聚合物PVA向微栅转移二维材料的方法,包括步骤:S1、PVA溶液配制;S2、在硅片上制备待观测样品;S3、通过旋涂法在硅片上制备PVA薄膜;S4、将样品由硅片转移至微栅;S5、得到转移成品。本方法不易损坏样品,适用于少层二维材料、异质结等脆弱或复杂样品的转移,微栅仅与干燥的薄膜接触,因此最大程度降低了损坏微栅的概率,实现将指定样品转移至微栅的指定位置,这使得本方法同样适用于将样品转移至原位芯片。
主权项:1.利用水溶性有机聚合物PVA向微栅转移二维材料的方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、PVA溶液配制PVA和去离子水混合,70℃加热搅拌至PVA完全溶解,得到PVA溶液;S2、在硅片上制备待观测样品采用机械剥离法得到剥离样品;S3、通过旋涂法在硅片上制备PVA薄膜将硅片置于匀胶机内,用胶头滴管吸取PVA溶液,滴于硅片;设定旋涂程序,旋涂后在热台上烘干,终得到均匀、干燥的PVA薄膜;S4、将样品由硅片转移至微栅将目标微栅置于洁净的滤纸上,将薄膜平铺在微栅表面,在显微镜下确认目标样品在微栅的适当位置。然后用胶头滴管吸取去离子水,滴在PVA薄膜上,使薄膜溶解,样品留于微栅。在显微镜下确认样品是否成功转移,以及PVA是否有残留。如有残留,重复上述溶解步骤。S5、得到转移成品将微栅晾干,保存于专用样品盒,或直接用透射电子显微镜进行测试。
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