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一种用于退火炉的炉区露点控制方法及系统 

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申请/专利权人:大连胜光科技发展有限公司

摘要:本申请涉及退火炉露点控制技术领域,具体涉及一种用于退火炉的炉区露点控制方法及系统,该方法包括:采集露点数据、温度数据和炉压数据;获取各露点子序列的波动差异系数和变速差异系数;计算露点序列的数据不变指数;获取露点序列的数据变化速率;基于温度序列和露点序列中突变点之间的差异情况,获取温度序列的靠前占比;进而获取温度序列与露点序列之间的温度响应系数;获取各对应露点峰值的上升子序列和下降子序列;计算露点序列的温度响应系数,进而结合神经网络对退火炉的炉区露点进行控制。本申请解决了现有控制技术难以应对复杂炉段变化和突发工艺参数波动的问题,实现了对露点的精准控制。

主权项:1.一种用于退火炉的炉区露点控制方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:采集退火炉中的加热炉段的露点数据、温度数据和炉压数据,构建露点序列、温度序列和炉压序列;基于局部的露点数据的离散程度、所有局部的露点数据的离散程度的差异的平均情况,以及局部的露点数据之间的差异的平均情况与其他局部的露点数据的差异的平均情况之间的差异,获取各露点子序列的波动差异系数和变速差异系数;基于露点数据在露点序列中出现的频率的集中分布情况,获取露点序列的数据不变指数;基于波动差异系数、变速差异系数和数据不变指数的值的大小,获取露点序列的数据变化速率;基于温度序列和露点序列中突变点之间的差异情况,获取温度序列的靠前占比;基于靠前占比、温度序列和露点序列中突变点之间的差异情况的离散程度、温度序列和露点序列之间的趋势性的距离,获取温度序列与露点序列之间的温度影响指数;基于温度序列和露点序列的峰值与峰谷之间的邻近关系,获取各峰值的上升子序列和下降子序列;基于峰值的上升子序列和下降子序列的长度之间的占比情况、温度序列和露点序列中各峰值与温度序列的均值之间的差异情况以及温度影响指数,获取露点序列的温度响应系数;基于数据变化速率和温度响应系数,结合神经网络对退火炉的炉区露点进行控制。

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