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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种支撑组件及其拆除方法、镀膜设备。支撑组件用于镀膜设备的炉管内。支撑组件包括支撑杆及支撑套杆。支撑套杆可拆卸地套设于支撑杆，并用于连接镀膜设备的电极组件。上述支撑组件，其通过支撑套杆与电极组件连接，且支撑套杆能够相对支撑杆完成单独拆离。因此，当需要拆装电极组件的时候，只需要将支撑套杆单独拆下，并相应地将电极组件相对支撑套杆完成拆装，再将支撑套杆套回支撑杆即可。如此，在拆装电极组件的过程中，用户只需将支撑套杆单独自炉管内抽出，而并不需要将支撑杆整个从炉管内拆除，降低了用户的操作难度，便于电极组件的拆装。同时，由于拆装动作范围更小，炉管内石英、陶瓷等易碎件的损坏概率也因此而得到降低。
主权项：1.一种支撑组件，用于镀膜设备的炉管内，其特征在于，所述支撑组件包括：支撑杆（10）；及支撑套杆（30），可拆卸地套设于所述支撑杆（10），并用于连接所述镀膜设备的电极组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 支撑组件及其拆除方法、镀膜设备
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