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申请/专利权人：苏州赛源光学科技有限公司
摘要：本发明公开了一种近紫外高精度高功率直写光刻镜头，包括镜头壳体，所述镜头壳体设有入射口、出射口、反射口，以及位于其内部设有反射组件，位于镜头壳体外侧对应反射口的位置设有DMD芯片，出射口的位置设有成像部，所述成像部共包括九片透镜，所述九片透镜自物面至像面依次为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜以及第九透镜，第一透镜的焦距为f1，所述第二透镜的焦距为f2，所述第三透镜的焦距为f3，所述第四透镜的焦距为f4，所述第五透镜焦距为f5，所述第六透镜焦距为f6，所述第七透镜的焦距为f7，定义所述第八透镜的焦距为f8，定义第九透镜焦距f9，通过本发明中的透镜结构应用在直写光刻镜头中具有高功率、高精度、均匀性好，且满足低畸变的特性。
主权项：1.一种近紫外高精度高功率直写光刻镜头，包括镜头壳体，所述镜头壳体设有入射口、出射口、反射口，以及位于其内部设有反射组件，位于镜头壳体外侧对应反射口的位置设有DMD芯片，出射口的位置设有成像部，其特征在于：所述成像部共包括九片透镜，所述九片透镜自物面至像面依次为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜以及第九透镜；定义所述第一透镜的焦距为f1，定义所述第二透镜的焦距为f2，定义所述第三透镜的焦距为f3，定义所述第四透镜的焦距为f4，定义所述第五透镜焦距为f5，定义所述第六透镜焦距为f6，所述第六透镜的物侧面的曲率半径为12，所述第六透镜的像侧面的曲率半径为13；定义所述第七透镜的焦距为f7，定义所述第八透镜的焦距为f8，定义第九透镜焦距f9，满足下列关系式：162mm≤f1≤163mm；162mm≤f2≤163mm；162mm≤f3≤163mm；162mm≤f4≤163mm；57mm≤f5≤63mm；-46mm≤f6≤-37mm；-15mm≤R12≤-11mm，419mm≤R13≤425mm；-36mm≤f7≤-26mm；35mm≤f8≤43mm；80mm≤f9≤89mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州赛源光学科技有限公司 一种近紫外高精度高功率直写光刻镜头
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