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申请/专利权人:武汉理工大学
摘要:本发明属于涂层制备技术领域,具体涉及一种提高基体与PVD涂层结合力的方法,具体包括,先将基体进行抛光处理,再采用微波等离子体对基体表面进行刻蚀预处理,使得基体表面具备纳微级别的凹槽或凹坑结构,然后在刻蚀预处理后的基体表面沉积PVD涂层,最后获得高结合力的PVD涂层。该方法不仅能够提高基体表面的比表面积,增加涂层与基体之间的接触面积,形成机械锚固作用,而且通过微波等离子体刻蚀预处理的方法可去除基体表面氧化物,提高涂层与基体之间的结合力。该方法适用于工程实践领域,可以延长PVD涂层的使用寿命。
主权项:1.一种提高基体与涂层的结合力的方法,其特征在于,包括:A.用微波等离子体对所述基体表面进行刻蚀预处理;B.对所述刻蚀预处理后的基体进行涂层沉积。
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权利要求:
百度查询: 武汉理工大学 一种提高基体与PVD涂层结合力的方法
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