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申请/专利权人：成都中科唯实仪器有限责任公司
摘要：本发明涉及一种低粒子真空蝶阀，包括气缸组件、阀芯组件及阀体。该蝶阀通过特殊设计的气缸组件与阀芯组件间的连接杆及滑动轨道机制，在开、关阀过程中避免阀芯与阀体金属接触，减少粒子产生，提高系统可靠性。气缸组件内的活塞轴套上设有两段滑动轨道，分别驱动连接杆绕不同点旋转，实现阀芯精确控制。阀芯组件采用耐磨材料支撑环，确保密封同时避免金属摩擦。此外，阀门设计具有自锁功能，提高安全性。本发明的低粒子真空蝶阀特别适用于薄膜镀层、质谱分析等对真空环境要求严苛的领域。
主权项：1.一种低粒子真空蝶阀，包括气缸组件（1）、阀芯组件（2）以及阀体，其特征在于，所述气缸组件（1）与阀芯组件（2）通过连接杆（1-7）相连，所述阀芯组件（2）位于阀体内，所述气缸组件（1）位于阀体外，所述气缸组件（1）包括缸筒（1-1）、活塞轴套（1-4）和摆动块（1-8），所述摆动块（1-8）设置在缸筒（1-1）并与缸筒（1-1）旋转连接，所述连接杆（1-7）与摆动块（1-8）销轴连接，所述连接杆（1-7）一端通过转动销轴（1-6）与活塞轴套（1-4）连接，另一端与阀芯组件（2）连接，所述活塞轴套（1-4）位于缸筒（1-1）内，所述活塞轴套（1-4）上设置有滑动轨道，所述转动销轴（1-6）嵌入活塞轴套（1-4）上的滑动轨道中，气缸推动活塞轴套（1-4）在缸筒（1-1）内运动时，所述转动销轴（1-6）沿滑动轨道限定的运动轨迹运动，所述滑动轨道分为两段，其中上方一段滑动轨道驱动连接杆（1-7）绕与摆动块（1-8）的连接点旋转，下方一段驱动连接杆（1-7）绕活塞轴套（1-4）的轴线旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都中科唯实仪器有限责任公司 一种低粒子真空蝶阀
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