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申请/专利权人：上海硬石科技有限公司
摘要：本发明涉及一种应用于交流等离子体激发电源中的电弧管理系统，属于电弧管理技术领域。其中，该系统包括交流溅射电源和等离子体负载；将所述交流溅射电源作为所述等离子体负载的靶极电源，通过通信接口连接数字存储示波器对所述交流溅射电源的端电压和放电电流进行观测并记录弧光电流产生和抑制的波形，根据所述波形通过电弧处理模块控制开关元件的导通抑制弧光放电。通过制定有效的控制策略和优化处理流程，显著提升电源的稳定性和安全性。
主权项：1.一种应用于交流等离子体激发电源中的电弧管理系统，其特征在于，包括：所述电弧管理系统包括交流溅射电源和等离子体负载；将所述交流溅射电源作为所述等离子体负载的靶极电源，通过通信接口连接数字存储示波器对所述交流溅射电源的端电压和放电电流进行观测并记录弧光电流产生和抑制的波形，根据所述波形通过电弧处理模块控制开关元件的导通抑制弧光放电。
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权利要求：
百度查询： 上海硬石科技有限公司 一种应用于交流等离子体激发电源中的电弧管理系统
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