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申请/专利权人：通快许廷格有限公司
摘要：一种调整向等离子体室2、2'中的等离子体15、15'供电的电源10、10'的输出功率的方法，该方法包括以下步骤：a.将所述电源10、10'与所述等离子体室2、2'中的至少一个电极11、11'、12、12'相连接，b.使用基材载体4、4'将一个或更多个基材3、3a、3b、3'相对于所述电极11、11'、12、12'运送，c.通过电力维持所述等离子体15、15'，d.借助于所述等离子体15、15'处理所述基材3、3a、3b、3'，e.根据与所述电极11、11'、12、12'的面向基材‑载体组件5、5'的表面和所述基材‑载体组件5、5'的面向电极11、11'、12、12'的表面之间的距离d相关的参数调整功率。
主权项：1.一种调整向等离子体室2、2'中的等离子体15、15'供电的电源10、10'的输出功率的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：a.将所述电源10、10'与所述等离子体室2、2'中的至少一个电极11、11'、12、12'相连接，b.使用基材载体4、4'将一个或更多个基材3、3a、3b、3'相对于所述电极11、11'、12、12'运送，c.通过电力维持所述等离子体15、15'，d.借助于所述等离子体15、15'处理所述基材3、3a、3b、3'，e.根据与所述电极11、11'、12、12'的面向基材-载体组件5、5'的表面和所述基材-载体组件5、5'的面向电极11、11'、12、12'的表面之间的距离d相关的参数调整功率。
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百度查询： 通快许廷格有限公司 调整向等离子体供电的电源的输出功率的方法、等离子体设备以及电源
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