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申请/专利权人：江苏偌伊纳米科技有限公司

摘要：本发明公开了一种基于物理气相沉积法的刀具表面镀层制备工艺，包括以下步骤：步骤一，步骤一，刀具预处理；步骤二，真空环境建立；步骤三，溅射过程；步骤四，镀层沉积；步骤五，后续处理；本发明提供的基于物理气相沉积法的刀具表面镀层制备工艺，通过该工艺制备的刀具表面镀层均匀、致密、与基体结合力强，能够显著提高刀具的耐磨性、耐腐蚀性、硬度等性能，同时，该工艺还可实现多种材料、多层结构的镀层制备，满足不同加工需求，该工艺具有操作简单、镀层质量好、适用范围广等优点，在刀具表面处理领域具有广阔的应用前景。

主权项：1.一种基于物理气相沉积法的刀具表面镀层制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，刀具预处理：a、对刀具进行清洗，去除表面的油污、锈迹等杂质，确保刀具表面干净、无杂质；b、对刀具进行粗糙化处理，以增加刀具表面的粗糙度，提高镀层与基体的结合力；c、将预处理后的刀具放入真空室内，进行真空离子清洗，去除表面的氧化物、杂质微粒等，进一步提高表面清洁度；步骤二，真空环境建立：a、关闭真空室，启动真空泵，将真空室内的气体抽出，建立高真空环境；b、通过真空计监测真空室内的压力，确保真空度达到预设值1×10-3-1×10-4Pa；c、启动加热系统，对真空室进行加热，使真空室内的温度达到预设温度范围350-450℃，并保持一定时间30-60min；步骤三，溅射过程：a、在真空室内安装所需的靶材，确保靶材与刀具之间的相对位置正确；b、引入反应气体，并通过气体流量计控制气体的流量；c、启动溅射电源，对靶材施加低电压、大电流的电弧放电，使靶材表面原子或分子蒸发；d、蒸发出的原子或分子在真空室内与反应气体发生化学反应，形成所需的化合物或合金；e、通过调节溅射参数，控制镀层的成分、结构和厚度；步骤四，镀层沉积：a、蒸发并反应后的原子或分子在刀具表面沉积，形成均匀的镀层；b、在沉积过程中，通过调整靶材与刀具的相对位置、改变溅射参数等方式，实现镀层的均匀性和致密性的控制，保证镀层质量；步骤五，后续处理：a、镀膜结束后，对刀具进行退火处理，以改善镀层的结晶度、致密度和内应力状态，提升硬度、韧性、抗氧化性等性能；b、根据需要，对刀具进行离子注入处理，引入特定元素如氮、碳等，进一步提高镀层的硬度和耐磨性；c、对刀具进行表面处理，如离子氮化、离子氧化等，以改善镀层的抗蚀性和降低摩擦系数。

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