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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本说明书的主题可以在方法、系统、计算机可读取储存介质等中实施。一种方法可以包括以下步骤：接收i传感器数据，表明处理基板的处理腔室的环境在腔室恢复程序之后的第一状态，以及ii基板制程数据，表明与由具有处于该腔室恢复程序之前的第二状态的该环境的该处理腔室执行基板处理程序相关联的一组制程参数值。该方法进一步包括以下步骤：使用一个或多个机器学习模型处理该传感器数据和该基板制程数据，以决定一个或多个输出。该一个或多个输出包括对该组制程参数值中的至少一者的更新。该更新与由具有处于该第一状态的该环境的该处理腔室执行该基板处理程序相关联。
主权项：1.一种方法，包括以下步骤：由处理设备，接收i传感器数据，所述传感器数据表明处理基板的处理腔室的环境在所述处理腔室上执行的腔室恢复程序之后的第一状态，以及ii基板制程数据，所述基板制程数据表明与由具有处于所述腔室恢复程序之前的第二状态的所述环境的所述处理腔室执行基板处理程序相关联的一组制程参数值；使用一个或多个机器学习模型MLM处理所述传感器数据和所述基板制程数据，以决定一个或多个输出，所述一个或多个输出包括对所述一组制程参数值中的至少一者的第一更新，其中所述第一更新与由具有处于所述第一状态的所述环境的所述处理腔室执行所述基板处理程序相关联；以及由所述处理设备，执行以下至少一个步骤：a准备表明所述第一更新的通知以在图形用户界面GUI上呈现，或b导致所述处理腔室基于所述第一更新执行所述基板处理程序的选集。
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