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申请/专利权人：中芯北方集成电路制造(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种晶圆夹持装置，所述晶圆夹持装置包括：底座；至少一个垫块，设置于所述底座的工作面；至少两个晶圆限位结构，设置于所述底座的工作面，所述晶圆限位结构包括第一工作面和凹槽，所述第一工作面延伸至所述凹槽。本申请所述的晶圆夹持装置，在进行晶圆翻转时，晶圆可以在重力作用下沿所述第一工作面滑入所述沟槽，并被所述沟槽固定，不会损伤晶圆，并且晶圆不容易倾倒，可以大幅提高晶圆加工良率和效率。
主权项：1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括：底座；至少一个垫块，设置于所述底座的工作面；至少两个晶圆限位结构，设置于所述底座的工作面，所述至少一个垫块和所述至少两个晶圆限位结构被配置为能够固定晶圆，所述晶圆限位结构包括第一工作面和能够夹持晶圆的凹槽，所述第一工作面延伸至所述凹槽，所述凹槽的宽度与晶圆的厚度匹配；所述第一工作面为曲面，当晶圆被翻转至垂直状态时，所述晶圆能够在自身重力作用下沿所述第一工作面滑入所述凹槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯北方集成电路制造(北京)有限公司 一种晶圆夹持装置
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