买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:日月光半导体制造股份有限公司
摘要:根据本申请的一个方面,提供了一种载板,该载板包括:用以承载加工件的第一区;围绕并邻接第一区的用以排液体的第二区,其中第二区相比于第一区凹陷,其中,第二区包括第一排出区,第一排出区自第一区的第一顶角呈放射状背离第一区连续延伸至载板的第一边缘。根据本申请的另一个方面,提供了另一种载板,包括:第一区、以及围绕并邻接第一区的第二区,第二区相比于第一区凹陷,第二区包括第一排出区,第一排出区自第一区的第一顶角呈放射状背离第一区连续延伸至载板的第一边缘。本申请的实施例的载板至少提供了相比于第一区凹陷的第二区,至少能够改善载板上的液体残留的问题。
主权项:1.一种载板,其特征在于,包括:用以承载加工件的第一区;围绕并邻接所述第一区的用以排液体的第二区,其中所述第二区相比于所述第一区凹陷,其中,所述第二区包括第一排出区,所述第一排出区自所述第一区的第一顶角呈放射状背离所述第一区连续延伸至所述载板的第一边缘。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 日月光半导体制造股份有限公司 载板
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。